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芯片智能制造系統(tǒng)–EAP(ecm智能芯片)

Hello,大家好,今天跟大家聊聊EAP,

EAP(Equipment Automation Programming),又叫設(shè)備自動(dòng)化程序。

EAP是MES(生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng))系統(tǒng)與機(jī)臺(tái)設(shè)備之間溝通的橋梁,EAP通過SECS國際標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議與機(jī)臺(tái)設(shè)備之間進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊。

SECS是半導(dǎo)體設(shè)備的一種標(biāo)準(zhǔn)國際通信協(xié)議。EAP就是通過這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議與機(jī)臺(tái)設(shè)備之間通信,傳輸數(shù)據(jù)和發(fā)送指令,以此來遠(yuǎn)程控制設(shè)備,使其按照預(yù)先定義的流程進(jìn)行生產(chǎn)加工,同時(shí)進(jìn)行機(jī)臺(tái)設(shè)備狀態(tài)的監(jiān)控,實(shí)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行的自動(dòng)化。

EAP程序?qū)崿F(xiàn)了對FAB內(nèi)機(jī)臺(tái)設(shè)備的實(shí)時(shí)監(jiān)控,是FAB自動(dòng)化重要的控制系統(tǒng)。EAP程序與FAB中的機(jī)臺(tái)設(shè)備緊密相關(guān),EAP程序的設(shè)計(jì)與開發(fā)必須與生產(chǎn)線實(shí)際用的機(jī)臺(tái)相匹配,按照生產(chǎn)流程的需求,區(qū)滿足控制機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的目的。

EAP是CIMComputer Integrated Manufacturing/計(jì)算機(jī)集成制造)解決方案中最底層的子系統(tǒng)之一,也是FAB中最重要的系統(tǒng)之一。FAB生產(chǎn)過程中,生產(chǎn)數(shù)據(jù)和機(jī)臺(tái)狀態(tài)數(shù)據(jù)都是通過EAP系統(tǒng)收集,然后傳送給MES和相關(guān)的系統(tǒng),MES再通過這些數(shù)據(jù)對產(chǎn)品和設(shè)備事件進(jìn)行跟蹤和監(jiān)控。如果沒有EAP程序,F(xiàn)AB中的CIM也就談不上是生產(chǎn)的自動(dòng)化。


EAP可以減少人為失誤,主要體現(xiàn)在以下:

  1. 避免帳料不符
  2. 避免跑錯(cuò)批次
  3. 避免選錯(cuò)配方
  4. 檢查配方參數(shù)

EAP可以提高生產(chǎn)效率,主要體現(xiàn)在以下:

  1. 自動(dòng)數(shù)據(jù)采集
  2. 自動(dòng)系統(tǒng)過賬
  3. 自動(dòng)獲取物料信息
  4. 自動(dòng)選擇配方
  5. 自動(dòng)物料載入載出
  6. 自動(dòng)數(shù)據(jù)上傳

EAP可以改善產(chǎn)品良率,主要體現(xiàn)在以下:

  1. 異常時(shí)自動(dòng)將Lot進(jìn)行Hold
  2. 異常時(shí)自動(dòng)將機(jī)臺(tái)Hold,或改變機(jī)臺(tái)狀態(tài)
  3. 調(diào)整工藝參數(shù)

EAP一般和MES之間交互,然后通過通訊協(xié)議與機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)行交互,示意圖如下所示:

備注:MES(Manufacturing Execution System/生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng))

芯片智能制造系統(tǒng)--EAP(ecm智能芯片)

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